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全自動、半自動、手動這三種三坐標測量儀在功能、檢測效率、精度上是依次降低的。半自動相比全自動來說是缺少全自動轉針測頭系統。當編跑程序測量工件時，隻要遇到有需要轉換不同角度的測針時，其就要手動去轉換測座的角度來測量。半自動相比手動又要高級一些。全自動和手動的區別如下：首先是測量儀在精度上的區別，手動三坐標測量儀由於是純手動操作，所以隨機誤差遠遠大於自動機，另外阿貝誤差也無法解決，所以精度上要差至少一個等級。
其次是檢測效率，全自動三坐標測量儀由於帶有自動控製系統，可以通過編程對批量工件進行大量檢測，所以相比手動三坐標測量儀而言，檢測效率大大提高。
再次就是價格方面，手動機由於沒有運動控製系統，所以價格隻有自動機的三分之一到一半左右。其實總得來說，手動機對操作人員的要求很高，經驗越是豐富的操作人員，對手動三坐標測量儀的精度掌握越高，反之越低，一般企業如果檢測工件量比較小且對精度要求不高的話，可以選擇手動三坐標測量儀，不過要對操作人員進行培訓。而全自動的隻要專業人員編好程序，隨便叫不怎麽會的人更換樣品都可以。
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