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在半導體行業中，BGA（Ball Grid Array，焊球陣列封裝）作爲一種高密度表面貼裝技術，通過在封裝基闆底部布置錫球陣列來實現與印刷電路闆（PCB）的電氣連接。其中錫球的高度、共面度和位置精度，它們直接影響到錫球頂端及間距的準確性，從而影響到最 終産品的穩定性和效率。因此，如何高 效且準確的測量BGA錫球成爲半導體製造廠商關註的問題之一。
檢測方案
思瑞OPTIV ADVANCE PLUS複合影像測量儀支持多種傳感器，一次設置快速完成多種特征測量。針對這類産品提供了精 密尺寸檢測方案，通過同時運行影像、白光共聚焦、激光傳感器等多傳感器技術，對BGA錫球尺寸進行高 效精 密檢測，從而提高半導體産品質量。
方案優勢
1、結構設計：采用固定橋式結構，結合花崗巖框架，且三軸均爲中 央驅動和精 密直線導軌，具有高精度、高可靠性的同時，也保證了傳動的精 密性。
2、3D複合測量：集成LMI 2512線激光，能夠實現對BGA錫球的三維掃描檢測，得出共面度等數據。
3、軟件支持：配備METUS測量軟件，提供直觀的操作界面和強大的數據分析功能，能夠批量檢測2D和3D尺寸，做到一臺設備滿足多種檢測需求。
檢測思路
1、在進行BGA位置度測量之前，需要確保BGA芯片處於良好的狀態，沒有受到汙染或損壞。
2、由於BGA焊點的尺寸較小且分布密集，陣列的偏移值需精 準計算。
3、用LMI激光掃描點雲，掃描的到的點雲可以直接在軟件內進行後處理，從而得到每個球體的最 高點和共面度。
檢測過程
1、在影像模式下，用外框邊定位建坐標系。
2、工件球體排列均勻，采用21*2陣列測量球體並求出其位置度。
3、切換至線激光模式，分兩次進行點雲掃描。
4、軟件進行影像定位球中 心，在點雲上提取Z方向最 高點和共面度。對於製造廠商而言，選擇合適的測量方案不僅是提升産品質量的關鍵，也是應對市場變化和技術挑戰的有 效途徑。
思瑞測量OPTIV ADVANCE PLUS複合影像測量儀方案能夠快速而準確地完成對BGA錫球的平面度和位置精度的測量，幫助製造商進一步優化生産工藝，降低成本，提高競爭力。
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